SiC高温外延炉
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主要特点 单片旋转生长，成膜均匀性好 感应加热，升降温速度快 耐高温特殊材料生长室，颗粒污染低 安全可靠性高，硬件和软件双保险
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季华恒一（佛山）半导体科技有限公司

季华恒一（佛山）半导体科技有限公司（简称季华恒一）是一家集研发、生产、销售和服务于一体的半导体装备高科技型企业。
季华恒一由国家特聘专家、国务院特殊津贴专家等领军人才牵头，集聚了一支以研究员、博士等为核心的半导体技术研发和管理团队，公司专注于宽禁带半导体和新能源领域的半导体装备产业化。着力于开发满足高良率、稳定生产需求的SiC单晶生长系统、SiC高温外延生长系统、高温离子注入系统、高温氧化系统、快速退火系统、电子束蒸镀系统、磁控溅射镀膜系统等装备，推动我国宽禁带半导体产业自主可控发展。
公司位于粤港澳大湾区佛山市三龙湾科技城，距离广州南站仅4公里车程。公司拥3000平米半导体装备装调车间，可满足200台套/年的半导体装备装配调试。同时，公司建有2000平米1000级洁净的装备研发平台用于半导体装备研发测试，可以满足装备工艺验证测试需求。
季华恒一始终坚持以客户为中心，以价值定位推动创新，追求服务领先，促进持久双赢。

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